一分彩

  • <tr id='k5eyhe'><strong id='k5eyhe'></strong><small id='k5eyhe'></small><button id='k5eyhe'></button><li id='k5eyhe'><noscript id='k5eyhe'><big id='k5eyhe'></big><dt id='k5eyhe'></dt></noscript></li></tr><ol id='k5eyhe'><option id='k5eyhe'><table id='k5eyhe'><blockquote id='k5eyhe'><tbody id='k5eyhe'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='k5eyhe'></u><kbd id='k5eyhe'><kbd id='k5eyhe'></kbd></kbd>

    <code id='k5eyhe'><strong id='k5eyhe'></strong></code>

    <fieldset id='k5eyhe'></fieldset>
          <span id='k5eyhe'></span>

              <ins id='k5eyhe'></ins>
              <acronym id='k5eyhe'><em id='k5eyhe'></em><td id='k5eyhe'><div id='k5eyhe'></div></td></acronym><address id='k5eyhe'><big id='k5eyhe'><big id='k5eyhe'></big><legend id='k5eyhe'></legend></big></address>

              <i id='k5eyhe'><div id='k5eyhe'><ins id='k5eyhe'></ins></div></i>
              <i id='k5eyhe'></i>
            1. <dl id='k5eyhe'></dl>
              1. <blockquote id='k5eyhe'><q id='k5eyhe'><noscript id='k5eyhe'></noscript><dt id='k5eyhe'></dt></q></blockquote><noframes id='k5eyhe'><i id='k5eyhe'></i>
                13962613699
                技术资料

                联系电话

                0512-53666903

                一种〖高温耐磨的AlCrSiN纳米复合涂层的制备方法
                编辑:开思新材△料(苏州)有限公司官网  上传时间:2021-10-15 浏览:33 次

                合成纳米复合材料▓作为一种具有独特性能的保护涂层,在过去的※三十年中一直是一种新型的薄膜材料。迄今为止,基于纳▆米复合材料的几种硬质涂层已经成功地开发和应用于工程应用领域。


                出现的问①题:

                1.大颗粒污染;相对较高的沉积ω 温度;薄膜内应力大;易引发◆微弧等。

                2.对偏压电源设备要求高,沉积︾温度不能准确控制,工艺稳定性差等缺点。


                解决方法:

                1.将基体置于腔室中卐,升温至300℃~500℃,抽真空至3.0×10-3pa~7.0×10-3pa,通入100sccm~250sccm氩气和50sccm~150sccm氪气,设置工件转架△偏压为-650v~-1000v,频率为20khz~240khz,进行脉冲◤刻蚀10min~20min;然后再次通入100sccm~250sccm氩气和50sccm~150sccm氪气,设置工件转架偏压为-150v~-300v,离子源电流为15a~30a,进行直←流刻蚀20min~50min。

                2.调节偏压ぷ至-80v~-200v,通入200~450sccm的氩气,点燃cr靶,调节■气压至1pa~2.5pa,温度设为300℃~450℃,脉冲电弧电源输〗出电流波形为矩形波或ㄨ锯齿波,输出@ 的脉冲平均电流70a~110a,频率为5hz~200hz,占空比为1%~70%,在基体表面沉积cr界面→植入层,沉积时间为5min~10min。

                3.调节偏压至-80~-150v,通入200~600sccm的氮气,点燃cr靶,调节气压至【1.0pa~2.5pa,温度300℃~450℃,脉冲电弧电源输出电流波形为矩形波或锯齿波↓,输出的脉冲平均电流70a~110a,频率为5hz~200hz,占空比为1%~70%,在所述cr界面植入层表面♂沉积crn过渡层,沉积时间为10min~30min。

                4.调节偏压至-50v~-150v,通入250sccm~600sccm的氮气,点燃alcrsi靶,调节气压至1.0pa~2.5pa,温度设为300℃~450℃,脉冲电弧电源输出电流波形为矩形波或锯齿波,输出的脉冲平均电流60a~100a,频率设为5hz~200hz,占空比为1%~70%,在所述crn过渡层表面沉积alcrsin过渡层,沉积时间为1h~4h。


                解决方案:

                本发明一种高温□耐磨的AlCrSiN纳米复合涂层通过采用脉︻冲电弧离子镀的方法,在基体表面由下至上〇依次沉积Cr界面植入层、CrN过渡层和AlCrSiN表面功能层。通过实验证明,通过上述技术方案得到的▲AlCrSiN纳米复合涂层不仅具有优异的高『温稳定性和耐磨性能◥,还具有表面大颗粒少、内应力低、膜基结合强度▓高等优点,适用于机械零部件、刀模具等产品表面的防护。


                新闻推荐
                开思新Ψ材料(苏州)有限公司 地址:太仓市北京西路6号科技创业』园服务楼2楼 联系人:谢经理 电话:0512-53666903 / 13962613699 邮箱:kaisixincailiao@163.com
                Copyright © 开思新材料(苏州)有限公司 苏ICP备20009597号-1